Das comX 51CA-RE\R Kommunikationsmodul für EtherCAT-Slave wurde entwickelt zur Integration in Automatisierungsgeräte der Halbleiterfertigungsausrüstung, um Massendurchflussregler, Vakuumventile, etc. gemäß ETG.5003-1 Standard mit einer Netzwerkschnittstelle zu versehen.
Im SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) Markt erfreut sich der EtherCAT-Standard wachsender Beliebtheit. Dementsprechend haben es sich große Halbleiterausrüster zur Aufgabe gemacht, aktiv an der Entwicklung des EtherCAT-Standards ETG.5003 mitzuwirken, dem Semiconductor Device Profile.
Das Geräteprofil (Common Device Profile – CDP, ETG.5003-1) definiert die Adressierung mittels „Explicit Device ID“, die per Drehschalter am comX 51CA-RE\R einstellbar ist.
