COMX 51CA-RE\R/ECS
用于半导体行业的通讯模块

用于半导体制造设备市场的模块
  • 用于半导体制造设备器件的EtherCAT从站网络接口

  • 根据 ETG.5003-1 标准(通用器件配置文件)开发

  • 配有板载网络连接器的完整从站接口

  • 通过双端口内存或 SPI 连接主机

  • 通过集成 Web 服务器更新固件

用于 EtherCAT Slave 的 COMx 51CA-RE\R 通讯模块已设计为集成到半导体制造设备的自动化设备中,以根据 ETG.5003-1 标准提供具有网络接口的质量流量控制器、真空阀等。

在 SEMI(国际半导体设备与材料协会)市场上,EtherCAT 标准的应用日益广泛。因此,大型半导体供应商积极参与 EtherCAT 标准 ETG.5003 半导体器件配置文件的开发。

设备配置文件(通用设备配置文件 - CDP、ETG.5003-1)通过"显式设备 ID"定义寻址,可通过 comX 51CA-RE\R 上的旋转开关进行设置。

COMX 51CA-RE\R/ECS supports the following protocols:
  • EtherCAT Slave

订单信息

产品名称

货号

简要说明

COMX 51CA-RE\R/ECS V4

1571.101/ECSV4

用于半导体行业的通讯模块

附件

comX 评估板

适用于所有 comX 类型的开发平台

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