Le module de communication comX 51CA-RE\R pour esclave EtherCAT a été conçu pour s’intégrer aux dispositifs d’automatisation des équipements de fabrication de semi-conducteurs. Des appareils comme les régulateurs de débit massique ou les vannes de dépression peuvent ainsi être équipés d’une interface réseau conformément à la norme ETG.5003-1.
La norme EtherCAT gagne en popularité sur le marché SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International). En conséquence, les principaux fournisseurs de semi-conducteurs participent activement au développement de la norme EtherCAT ETG.5003 portant sur le profil des dispositifs à semi-conducteurs.
Le profil commun des dispositifs (Common Device Profile - CDP, ETG.5003-1) définit l'adressage au moyen d’un « Explicit Device ID », qui peut être défini par l’interrupteur rotatif sur comX 51CA-RE\R.
