COMX 51CA-RE\R/ECS
アクティブ

半導体産業用通信モジュール

半導体製造装置市場向けモジュール
  • 半導体製造装置のデバイス向けEtherCATスレーブ・ネットワーク・インターフェース

  • ETG.5003-1規格、共通デバイスプロファイルに準拠して開発

  • ネットワークコネクタをボード上に搭載した完全なスレーブインターフェース

  • デュアルポートメモリまたはSPI経由でのホスト接続

  • 統合Webサーバ経由のファームウェア更新

EtherCATスレーブ用のcomX 51CA-RE\R通信モジュールは、、ETG.5003-1規格に準拠するネットワークインターフェースをマスフローコントローラや真空バルブなどに提供するため、半導体製造装置のオートメーションデバイスに組み込むように設計されています。

SEMI(国際半導体製造装置材料協会)市場では、EtherCAT規格がますます普及しています。それに応じて、大手半導体サプライヤーはEtherCAT規格ETG.5003「半導体装置向けデバイスプロファイル」の開発に積極的に参加しています。

デバイスプロファイル(共通デバイスプロファイルCDP、ETG.5003-1)は、「Explicit Device ID」によってアドレッシングを定義し、この設定はcomX 51CA-RE\Rのロータリースイッチで行うことができます。

型式

型番

内容

COMX 51CA-RE\R/ECS V4

1571.101/ECSV4

半導体産業用通信モジュール

ソフトウェアのダウンロード
データシートのダウンロード
アクセサリ

comX評価ボード

すべてのcomXタイプ用の開発プラットフォーム

アクセサリ

comX評価ボード

すべてのcomXタイプ用の開発プラットフォーム