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    Blog: comX 51CA-RE\R – Jetzt ist die Halbleiterindustrie am Zug

    Bei der Planung neuer Produktionsstätten setzt die Halbleiterindustrie auf State-of-the-Art Technologie. Mit dem COMX 51CA-RE\R können sich Maschinenbauer beim Design ihrer Tools für die Halbleiterindustrie nun endlich auf die Entwicklung ihrer Applikationen konzentrieren.

    Das comX für die Halbleiterindustrie unterscheidet sich optisch nur unwesentlich vom bewährten comX 51CA-RE Modul. Zwei Merkmale sind jedoch herauszustellen. Neben der Einsparung eines Kühlkörpers verfügt das comX 51CA-RE\R zusätzlich über drei Drehcodierschalter. Die Drehcodierschalter werden genutzt, um beim Industrieprotokoll EtherCAT eine Explicite Device Identification zu setzen.

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    Explicit Device ID

    Die Verwendung der EtherCAT Geräteidentifikation dient der expliziten Identifizierung eines EtherCAT-Slaves. In der Spezifikation ETG.1020 „Protocol Enhancements“ werden zwei Anwendungsfälle für die Verwendung dieser ID konkret beschrieben.

    Hot Connect

    Bei Hot Connect dürfen Geräte während des Betriebs der Anlage aus dem Datenverkehr genommen oder hinzugefügt werden. Im Falle eines Defekts können zum Beispiel Geräte im laufenden Betrieb ausgetauscht werden. Dank der Explicite Device Identification hat der Master die Möglichkeit, zu identifizieren, welcher Teil des Netzwerks verfügbar ist.

    Vermeidung von Kabeltausch

    Desweiteren gibt es Anwendungen mit identischen Geräten, bei denen ein Kabeltausch verhindert werden muss, damit keine falschen Prozessdaten übertragen werden. An dieser Stelle hilft ebenso eine eindeutige Identifikation der Geräte per Explicite Device Identification.

    Requesting ID Mechanism

    Zum Setzen der Device ID verfügt das comX 51CA-RE\R über den „Requesting ID Mechanism“, welcher speziell für komplexere Slaves mit Applikations CPU entwickelt wurde. Hierbei schreibt der Slave seine Explicite Device ID in ein Statusregister und setzt dort ebenfalls ein Bit, um zu signalisieren, dass die ID geladen wurde. Der Master kann die ID anfordern, indem er ein Bit im Control Register setzt.

    ETG Standard
    In der Halbleiterindustrie hat sich das Protokoll EtherCAT über die Jahre durchgesetzt. Daher setzen heute zwölf von dreizehn Unternehmen, welche Wafer-Level-Fertigungsequipment herstellen, in ihren Anlagen auf die EtherCAT Technologie.1 Die EtherCAT Technology Group (ETG) legt mit dem Geräteprofil ETG.5003-1 die Basis für Halbleiterfertigungsmaschinen, darunter Geräte wie Massendurchflussregler, Temperaturcontroller und Turbopumpen. In dem Geräteprofil werden allgemeine Merkmale und Funktionalitäten spezifiziert, die diese Geräte besitzen müssen. Daher wurde das Profil auch „Common Device Profile“(CDP) gennant und ist der erste Teil des ETG.5003 „Semiconductor Device Profile“.

    Im zweiten Teil des ETG.5003, das sogenannte „Specific Device Profile“ (SDP), werden neun verschiedene Gerätetypen beschrieben und deren Datenstruktur spezifiziert.


    Zu den SDPs zählen die folgenden Gerätetypen:

    • Emissionsminderungs- und Sub Fab Systeme
    • DC und RF Generatoren
    • Massenflusssensoren
    • Prozesssteuerungsventile
    • RF Match
    • Schrupp-/Vakuumpumpen
    • Temperaturcontroller
    • Turbopumpen
    • Vakuumdruckmessgeräte
    comX 51CA-RE\R

    Für Machinenbauer, die in der Halbleiterindustrie vertreten sind, sind beim Design neuer Tools beide Profile relevant.

    Hilscher unterstützt mit dem COMX 51CA-RE\R das CDP und erleichtert Maschinenbauern das Design neuer Halbleiterfertigungsmaschinen. Die Unterstützung der Requesting ID Methode wird z.B. im Semiconductor Device Profile ETG.5003 explizit gefordert.

    Das Interessante an dem comX Modul ist, dass neben EtherCAT auch die ganze Palette an Industrieprotokollen verwendet werden kann. Damit können Gerätehersteller mit einem Grundplatinendesign mehrere Anwendungsgebiete auch außerhalb der Halbleiterindustrie abdecken.

    Im folgenden Video erklärt Simon Fischer die Embedded-Module von Hilscher

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    Weiterführende Links
    Four different embedded modules from Hilscher on a colorful background. The devices are slightly mirrored on the bottom.
    Unsere Embedded-Module für alle industriellen Protokolle

    Embedded-Module von Hilscher sind die ideale Lösung, um eine Feldbus- bzw. Real-Time-Ethernet-Schnittstelle in ein kompaktes Automatisierungsgerät einzubinden. So lassen sich beispielsweise Feldgeräte wie Antriebe oder Steuerungen einfach und schnell in automatisierte Systeme integrieren.

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    Eine Hand hält eine Pinzette über einer Leiterkarte von Hilscher
    Blog: comX – Flexibles Kommunikationsmodul für die Automation

    Das comX Kommunikationsmodul wurde für die Integration in Automatisierungsgeräte entwickelt, um diese mit einer Netzwerkschnittstelle auszustatten. Dabei werden alle Kommunikationsaufgaben autark auf dem Modul ausgeführt - unabhängig vom Prozessor der Zielplattform.

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