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    博客：comX 51CA-RE\R - 现在轮到半导体行业了

    半导体行业在规划新的生产设施时依赖于最先进的技术。得益于 comX 51CA-RE\R 机器制造商现在终于能够在为半导体行业设计工具时完全专注于应用开发。

    在视觉效果方面，用于半导体行业的新型 comX 与成熟的 comX 51CA-RE 模块仅有细微差别。有必要强调两个特点。除了省去散热器外，comX 51CA-RE\R 还有三个旋转开关。这些旋转开关用于在工业协议 EtherCAT 中设置显式设备标识。

    显式设备 ID
    使用 EtherCAT 设备标识可明确识别 EtherCAT 从站。在 ETG.1020 规范“协议增强”中特别描述了使用此 ID 的两种应用场景。

    热连接

    热连接允许在系统运行时从数据流中删除或添加设备。例如，在发生故障时，可在带电作业期间更换设备。由于采用了“显式设备识别”技术，主站能够识别网络的哪个部分可用。

    避免更换电缆

    此外，在一些设备完全相同的应用中，需要避免交换电缆，以防止传输错误的过程数据。此时，使用“显式设备标识”来清楚地识别设备也很有帮助。

    请求 ID 机制
    comX 51CA-RE\R 包括“请求 ID 机制”，该机制专门为包含应用 CPU 的更复杂从站而开发。从属设备将其“显式设备 ID”写入状态寄存器，并在其中设置一个位，以表示 ID 已加载。主站可通过设置控制寄存器中的一个位来请求 ID。

    ETG 标准
    多年来，EtherCAT 协议在半导体行业赢得了广泛认可。正因如此，如今在生产晶圆级制造设备的十三家公司中，有十二家在其设备中采用了 EtherCAT 技术。1 EtherCAT 技术组（ETG）正在为半导体制造设备的设备配置文件 ETG.5003-1 奠定基础，其中包括质量流量控件、温度控件和涡轮泵等设备。此设备配置文件规定了这些设备必须具备的一般特性和功能。因此，该配置文件又称为“通用器件配置文件”（CDP），并构成 ETG.5003“半导体器件配置文件”的第一部分。

    ETG.5003 的第二部分描述了“特定设备配置文件”（SDP），规定了九种不同类型的设备及其数据结构。

    SDP 包括以下设备类型：

    • 废气处理和分装系统
    • 直流和射频发生器
    • 质量流量控件
    • 过程控制阀
    • 射频匹配
    • 低真空泵
    • 温度控件
    • 涡轮泵
    • 真空压力计
    comX 51CA-RE\R

    对于半导体行业的机械制造商来说，在设计新工具时，这两方面都很重要。

    凭借 comX 51CA-RE\R，赫优讯支持 CDP，使机器制造商更容易设计新的半导体设备。例如，半导体器件规范 ETG.5003 明确要求支持请求 ID 方法。

    comX 模块的有趣之处在于，除了 EtherCAT 之外，还可以使用所有工业协议。因此，即使在半导体行业之外，设备制造商也能通过单个主板设计覆盖多个应用领域。

    在以下视频中，Simon Fischer 介绍了赫优讯嵌入式模块

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