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    Blog : comX 51CA-RE\R – Au tour de l’industrie des semi-conducteurs

    L'industrie des semi-conducteurs fait confiance à des technologies de pointe pour la planification de nouvelles installations de production. Grâce au comX 51CA-RE\R, les constructeurs de machines peuvent enfin consacrer toute leur attention au développement de leurs applications lorsqu’ils conçoivent leurs outils pour l'industrie des semi-conducteurs.

    Visuellement, le nouveau comX pour l'industrie des semi-conducteurs ne présente que des différences minimes avec le module comX 51CA-RE bien connu. Deux caractéristiques doivent cependant être soulignées : en plus de s’affranchir du dissipateur thermique, le comX 51CA-RE\R est équipé de trois interrupteurs rotatifs, utilisés pour définir un « Explicit Device ID » dans le protocole industriel EtherCAT.

    Explicit Device ID
    L'utilisation du système d'identification des appareils EtherCAT permet d’identifier explicitement un esclave EtherCAT. La spécification ETG.1020 « Protocol Enhancements » décrit spécifiquement deux scénarios d’application pour l’utilisation de cet identifiant.

    Connexion à chaud

    La connexion à chaud permet de retirer ou d'ajouter des périphériques du trafic de données alors que le système est en service. Par exemple, en cas de panne, les appareils peuvent être remplacés sans interrompre le fonctionnement du processus. Grâce au système d'identification « Explicit Device ID », le maître peut identifier la partie du réseau qui est disponible.

    Plus besoin de remplacer les câbles

    Il existe par ailleurs des applications utilisant des dispositifs identiques, dans lesquelles l'échange de câbles est proscrit pour empêcher toute transmission de données de processus incorrectes. L’utilisation de l’« Explicit Device ID » est alors particulièrement utile, puisqu’il permet d'identifier clairement les appareils.

    Mécanisme de demande d’identification
    Le comX 51CA-RE\R englobe le « mécanisme de demande d’identification » qui a été spécialement développé pour les esclaves plus complexes contenant un processeur d’application. L'esclave écrit son « Explicit Device ID » dans un registre d'état et y place un bit afin de signaler que l'ID a été chargé. Le maître peut demander l'ID en plaçant un bit dans le registre de contrôle.

    Norme ETG
    Au fil du temps, le protocole EtherCAT a su gagner la confiance de l'industrie des semi-conducteurs. C'est pourquoi aujourd'hui, douze des treize entreprises produisant des équipements de fabrication de plaquettes font confiance à la technologie EtherCAT pour leurs équipements. L’EtherCAT Technology Group (ETG) établit, avec la norme ETG.5003-1, les bases à respecter pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs. Cette norme établit le profil des appareils concernés, notamment les régulateurs de débit massique, les régulateurs de température et les turbopompes, et spécifie les caractéristiques et fonctionnalités générales imposées à ces appareils. Le profil correspondant, également connu sous le nom de « Common Device Profile » (CDP), constitue la première partie de la norme ETG. 5003 « Semiconductor Device Profile »

    La deuxième partie de l’ETG.5003, qui décrit le « Specific Device Profile » (SDP), spécifie neuf types de dispositifs différents et leur structure de données.

    Le SDP concerne les types d’appareils suivants :

    • Systèmes de réduction des gaz
    • Générateurs DC et RF
    • Régulateurs de débit massique
    • Vannes de contrôle de procédé
    • Ajustement RF
    • Pompes à prévidage
    • Régulateurs de température
    • Turbopompes
    • Manomètres à vide
    comX 51CA-RE\R

    Lorsque les constructeurs de machines pour l'industrie des semi-conducteurs conçoivent de nouveaux outils, les deux profils sont importants.

    Avec le comX 51CA-RE\R, Hilscher prend en charge le CDP et facilite la tâche des constructeurs de machines soucieux de concevoir de nouveaux équipements de fabrication de semi-conducteurs. La prise en charge de la méthode de demande d’identification est explicitement requise par la norme ETG.5003.

    Point intéressant : outre EtherCAT, le module comX permet d’utiliser toute la gamme de protocoles industriels. Les fabricants d’appareils sont donc en mesure de couvrir plusieurs domaines d'application, même en dehors de l'industrie des semi-conducteurs, avec un seul modèle de carte mère.

    Dans la vidéo suivante, Simon Fischer explique les modules embarqués de Hilscher

    Regardez la vidéo sur YouTube...

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    Four different embedded modules from Hilscher on a colorful background. The devices are slightly mirrored on the bottom.
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