Outils pour machines de fabrication de semi-conducteurs
Les outils des machines de fabrication de semi-conducteurs sont des composants importants. Ils peuvent notamment être équipés du nouveau comX 51CA-RE\R de Hilscher, chargé d’assurer la communication EtherCAT. Selon la norme ETG.5003, des modules de communication peuvent être utilisés dans les outils suivants :
1 Systèmes de réduction des gaz
Les usines sont équipées de nombreuses pompes et systèmes de réduction qui d’une part traitent les gaz d'échappement et les sous-produits générés par le processus de fabrication, et d’autre part sont chargés de veiller à ce que l’environnement soit irréprochable pour les outils utilisés en salle blanche.
2 Générateurs DC et RF
Des générateurs DC et haute fréquence sont utilisés dans la production de semi-conducteurs pour réaliser les procédés chimiques et physiques à l’intérieur de la chambre de procédé (ex. : dépôt, gravure et nettoyage).
3 Régulateurs de débit massique
Plus de 100 gaz et certains fluides sont utilisés pour la production de semi-conducteurs. Ils sont maîtrisés au moyen d'un régulateur de débit massique.
4 Vannes de contrôle de procédé
Les vannes de contrôle de procédé sont généralement utilisées pour réguler la pression, le niveau de fluide, le débit de fluide ou la température dans une multitude d'applications industrielles. Elles participent également à la production de semi-conducteurs.
5 Ajustement RF
Dans les technologies haute fréquence, une impédance de charge non adaptée à la ligne électrique empêche le générateur de transmettre toute sa puissance à la charge. L’ajustement RF autorise un réglage précis des niveaux de puissance en quelques microsecondes. Dans la production de semi-conducteurs, c’est la garantie d'une transmission de puissance précise, pour plus de stabilité des procédés de production.
6 Pompes à prévidage
Dans la production de semi-conducteurs, des pompes à vide sont utilisées pour générer un vide ou un ultra-vide. Les pompes à vide sèches stabilisent les conditions du procédé.
7 Régulateurs de température
Lors de la gravure, le matériau solide est liquéfié par une solution chimique. Pour que le procédé fonctionne, la température doit être adéquate en permanence. On emploie donc des régulateurs de température pour prévenir tout écart susceptible de rendre les plaquettes inutilisables à l’issue de la gravure.
8 Turbopompes
Avec une turbopompe, la pression requise pour la génération d'un (ultra)vide est produite par des rotors à rotation rapide, ce qui conduit à des conditions de procédé extrêmement pures.
9 Manomètres à vide
La capacité à mesurer le vide avec une précision extrême est indispensable dans un souci de préservation des conditions de la salle blanche de fabrication des semi-conducteurs. On emploie par conséquent des manomètres à vide à différents moments du processus (séparation ou gravure, par exemple).
