EtherCATスレーブ用通信モジュールであるcomX 51CA-RE\Rは、半導体製造装置向けのオートメーションデバイスへの組込み用に設計されています。マスフローコントローラ、真空バルブなどのデバイスにETG.5003-1規格に基づくネットワークインターフェースを装備できます。

SEMI (国際半導体製造装置材料協会) 市場では、EtherCAT規格がますます普及しています。それに応じて、大手半導体サプライヤは、EtherCAT規格ETG.5003 (半導体装置向けデバイスプロファイル) の開発に積極的に参加しています。

comX 51CA-RE\Rは、ETG規格に準拠し、共通デバイスプロファイル (CDP、ETG.5003-1) で定義されたロータリスイッチによるExplicit Device IDに対応します。