用于半导体行业的 comX 51CA-RE\R
EtherCAT 已成为半导体制造领域公认的通讯协议。实时以太网协议通常通过 IP 地址或远程寻址。针对半导体行业,ETG(EtherCAT 技术组)定义了一种特殊的配置文件,并在 ETG.5003“半导体设备配置文件”中作了规定。半导体行业最大的生产设备制造商,如 Applied Materials、Lam Research 和 Tokyo Electron 等,都积极参与了该标准的制定,从而使不同设备之间的互操作性变得更加容易。
EtherCAT 通讯协议已成为半导体市场的标准配置,多年来,通过旋转编码开关寻址的产品需求一直在急剧增长。希望在半导体市场上销售产品的设备制造商将无法再回避 ETG 标准。
comX 51CA-RE\R 基于 comX 51 的经典设计,在市场上享有盛誉。增加物理地址旋转编码开关后,可根据通用设备配置文件(CDP,ETG.5003-1)设置显式设备 ID。赫优讯内部开发的硬件和软件相互作用,使用户能够根据通用设备配置文件开发设备,这为根据 SDP(特定设备配置文件,ETG.5003-2xxx)开发设备奠定了基础,适用于以下应用:
- 废气处理和分装系统
- 直流和射频功率发生器
- 质量流量控件
- 过程控制阀
- 射频匹配
- 低真空泵
- 温度控件
- 涡轮泵
- 真空压力计