EtherCATスレーブ用のcomX 51CA-RE\R通信モジュールは、、ETG.5003-1規格に準拠するネットワークインターフェースをマスフローコントローラや真空バルブなどに提供するため、半導体製造装置のオートメーションデバイスに組み込むように設計されています。
SEMI(国際半導体製造装置材料協会)市場では、EtherCAT規格がますます普及しています。それに応じて、大手半導体サプライヤーはEtherCAT規格ETG.5003「半導体装置向けデバイスプロファイル」の開発に積極的に参加しています。
デバイスプロファイル(共通デバイスプロファイルCDP、ETG.5003-1)は、「Explicit Device ID」によってアドレッシングを定義し、この設定はcomX 51CA-RE\Rのロータリースイッチで行うことができます。