Das comX 51CA-RE\R Kommunikationsmodul für EtherCAT-Slave wurde eigens für die Integration in Automatisierungsgeräte der Halbleiterfertigungsausrüstung (Semiconductor Manufacturing Equipment) entwickelt. Geräte wie Massendurchflussregler oder Vakuumventile können dadurch mit einer Netzwerkschnittstelle nach ETG.5003-1 Standard ausgestattet werden.

Im SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) Markt erfreut sich der EtherCAT-Standard an immer größer werdenden Beliebtheit. Dementsprechend haben es sich große Halbleiterausrüster zur Aufgabe gemacht, aktiv an der Entwicklung des EtherCAT-Standards ETG.5003 mitzuwirken: dem Semiconductor Device Profile.

Die dort definierten Anforderungen finden beim comX 51CA-RE\R mit der Adressierung der „Explicit Device ID“ per Drehcodierschalter ihre Anwendung, welche in dem allgemeinen Geräteprofil (Common Device Profile – CDP, ETG.5003-1) definiert wurde.