comX 51CA-RE\R – Jetzt ist die Halbleiterindustrie am Zug

comX 51CA-RE\R - Jetzt ist die Halbleiterindustrie am Zug

Bei der Planung neuer Produktionsstätten setzt die Halbleiterindustrie auf State-of-the-Art Technologie. Mit dem COMX 51CA-RE\R können sich Maschinenbauer beim Design ihrer Tools für die Halbleiterindustrie nun endlich auf die Entwicklung ihrer Applikationen konzentrieren.

Das comX für die Halbleiterindustrie unterscheidet sich optisch nur unwesentlich vom bewährten comX 51CA-RE Modul (Abbildung 1). Zwei Merkmale sind jedoch herauszustellen. Neben der Einsparung eines Kühlkörpers verfügt das comX 51CA-RE\R (Abbildung 2) zusätzlich über drei Drehcodierschalter.

 


Abbildung 1: COMX 51CA-RE

Abbildung 2: COMX 51CA-RE\R

 

Die Drehcodierschalter werden genutzt, um beim Industrieprotokoll EtherCAT eine Explicite Device Identification zu setzen.

Explicit Device ID

Die Verwendung der EtherCAT Geräteidentifikation dient der expliziten Identifizierung eines EtherCAT-Slaves. In der Spezifikation ETG.1020 „Protocol Enhancements“ werden zwei Anwendungsfälle für die Verwendung dieser ID konkret beschrieben.

Hot Connect

Bei Hot Connect dürfen Geräte während des Betriebs der Anlage aus dem Datenverkehr genommen oder hinzugefügt werden. Im Falle eines Defekts können zum Beispiel Geräte im laufenden Betrieb ausgetauscht werden. Dank der Explicite Device Identification hat der Master die Möglichkeit, zu identifizieren, welcher Teil des Netzwerks verfügbar ist.

Vermeidung von Kabeltausch

Desweiteren gibt es Anwendungen mit identischen Geräten, bei denen ein Kabeltausch verhindert werden muss, damit keine falschen Prozessdaten übertragen werden. An dieser Stelle hilft ebenso eine eindeutige Identifikation der Geräte per Explicite Device Identification.

Requesting ID Mechanism

Zum Setzen der Device ID verfügt das comX 51CA-RE\R über den „Requesting ID Mechanism“, welcher speziell für komplexere Slaves mit Applikations CPU entwickelt wurde. Hierbei schreibt der Slave seine Explicite Device ID in ein Statusregister und setzt dort ebenfalls ein Bit, um zu signalisieren, dass die ID geladen wurde. Der Master kann die ID anfordern, indem er ein Bit im Control Register setzt.

ETG Standard

In der Halbleiterindustrie hat sich das Protokoll EtherCAT über die Jahre durchgesetzt. Daher setzen heute zwölf von dreizehn Unternehmen, welche Wafer-Level-Fertigungsequipment herstellen, in ihren Anlagen auf die EtherCAT Technologie.1 Die EtherCAT Technology Group (ETG) legt mit dem Geräteprofil ETG.5003-1 die Basis für Halbleiterfertigungsmaschinen, darunter Geräte wie Massendurchflussregler, Temperaturcontroller und Turbopumpen. In dem Geräteprofil werden allgemeine Merkmale und Funktionalitäten spezifiziert, die diese Geräte besitzen müssen. Daher wurde das Profil auch „Common Device Profile“(CDP) gennant und ist der erste Teil des ETG.5003 „Semiconductor Device Profile“.

Im zweiten Teil des ETG.5003, das sogenannte „Specific Device Profile“ (SDP), werden neun verschiedene Gerätetypen beschrieben und deren Datenstruktur spezifiziert.


Zu den SDPs zählen die folgenden Gerätetypen:

  • Emissionsminderungs- und Sub Fab Systeme
  • DC und RF Generatoren
  • Massenflusssensoren
  • Prozesssteuerungsventile
  • RF Match
  • Schrupp-/Vakuumpumpen
  • Temperaturcontroller
  • Turbopumpen
  • Vakuumdruckmessgeräte


Mit unseren Embedded Modulen begegnen wir der weltweiten Chip-Knappheit:

comX 51CA-RE\R





Für Machinenbauer, die in der Halbleiterindustrie vertreten sind, sind beim Design neuer Tools beide Profile relevant.

Hilscher unterstützt mit dem COMX 51CA-RE\R das CDP und erleichtert Maschinenbauern das Design neuer Halbleiterfertigungsmaschinen. Die Unterstützung der Requesting ID Methode wird z.B. im Semiconductor Device Profile ETG.5003 explizit gefordert.

Das Interessante an dem comX Modul ist, dass neben EtherCAT auch die ganze Palette an Industrieprotokollen verwendet werden kann. Damit können Gerätehersteller mit einem Grundplatinendesign mehrere Anwendungsgebiete auch außerhalb der Halbleiterindustrie abdecken.

Im letzten Artikel haben wir Ihnen die Vorteile des comX Moduls näher gebracht. Diese gelten selbstverständlich auch für unser neustes Mitglied in der comX Familie.
Testen Sie noch heute die neuen Möglichkeiten des COMX 51CA-RE\R für die Halbleiterindustrie.


Danke, dass Sie den vierten Teil unserer comX Blogserie gelesen haben. Als nächstes: Teil 5 - Applikationen des COMX 51CA-RE\R

Lesen Sie den ersten Teil hier:  Teil 1 - Globale Chipkrise – Hilscher unterstützt beim Aufbau neuer Halbleiterfabriken

Lesen Sie den zweiten Teil hier:  Teil 2 - Hilscher Embedded Module: Marktführer seit mehr als einem Vierteljahrhundert

Lesen Sie den dritten Teil hier:  Teil 3 - comX: Flexibles Kommunikationsmodul für die Automation

Der nächste Beitrag wird in wenigen Tagen verfügbar sein. 

 

Referenzen

1 Beckhoff Automation, "EtherCAT: der Weltstandard für die Halbleiterindustrie"