博客：半导体制造及其机器

半导体制造机器的工具

半导体制造设备的重要组成部分是其装置，也称为工具。赫优讯的新型 comX 51CA-RE\R 也用于这些工具，并负责 EtherCAT 通讯。根据 ETG.5003 标准，通讯模块可用于以下工具：

1废气处理和分装系统

工厂中有许多泵和还原系统，用于处理生产过程中产生的废气和副产品。它们还负责为洁净室工艺室中的工具创造完美无瑕的环境。

2.直流和射频发生器

半导体生产中使用直流和高频发生器来执行工艺室内的化学和物理过程（如沉积、蚀刻和清洗）。

3.质量流量控件

半导体生产过程中会用到 100 多种气体和一些液体，可通过质量流量调节器进行调节。

4.过程控制阀

过程控制阀通常用于控制各种工业应用中的压力、液位、流量或温度。它们还用于半导体生产。

5.射频匹配

在高频技术中，负载阻抗与电气线路不匹配会导致发电机无法向负载传输全部功率。通过射频调节，可在微秒范围内对功率水平进行精确调节。在半导体生产中，这保证了精确的功率传输，最终有助于生产过程的稳定性。

6.低真空泵

在半导体生产中，真空泵用于产生真空或超高真空。干式真空泵有助于稳定工艺条件。

7.温度控件

在蚀刻过程中，固体材料通过化学溶液液化。合适的温度在这里起着核心作用。因此，需要使用温度控件来防止偏差。这可能导致晶片在蚀刻后无法使用。

8.涡轮泵

涡轮泵通过快速旋转的转子产生（超高）真空所需的压力，从而实现极其纯净的工艺条件。

9.真空压力计

高精度的真空测量对半导体制造厂保持洁具室室至关重要。因此，真空压力计可用于各种工艺步骤（如分离或蚀刻）。