用于 EtherCAT Slave 的 COMx 51CA-RE\R 通讯模块已设计为集成到半导体制造设备的自动化设备中,以根据 ETG.5003-1 标准提供具有网络接口的质量流量控制器、真空阀等。
在 SEMI(国际半导体设备与材料协会)市场上,EtherCAT 标准的应用日益广泛。因此,大型半导体供应商积极参与 EtherCAT 标准 ETG.5003 半导体器件配置文件的开发。
设备配置文件(通用设备配置文件 - CDP、ETG.5003-1)通过"显式设备 ID"定义寻址,可通过 comX 51CA-RE\R 上的旋转开关进行设置。